公司引CP设备在线装机数保持高速增长，2025年上半年已有超1200个反应台在线运

研究报告节选:

公司在 CCP 刻蚀设备领域持续保持领先，产品线覆盖双反应台与单反应台多种型号。公司 CCP 刻蚀设备中双反应台机型 Primo D-RIE、Primo AD-RIE、Primo AD-RIE-e 和单反应台机型 Primo HD-RIE 等产品已广泛应用于国内外一线客户的生产线，用于高精度高选择比刻蚀工艺的单反应台产品 Primo HD-RIEe 和用于超高深宽比刻蚀工艺的 Primo UD-RIE持续获得客户订单，其中 Primo HD-RIEe在 2025 年上半年累计装机超过 120 个反应台，PrimoUD-RIE 累计装机接近 200 个反应台。截至 2025 年上半年，CCP 刻蚀设备累计装机量超过4500 个反应台，较 2024 年同期增长超过 900 个反应台。其中，双反应台刻蚀产品凭借独特设计，为成熟和先进技术节点的客户提供了均衡的解决方案，持续获得批量订单，截至 2025年上半年累计装机突破了 3300 个反应台。单反应台产品近年来在关键工艺取得持续突破，截至 2025 年上半年累计装机接近 1200 个反应台。