【行业研究报告】电子设备-国内半导体设备招投标月度数据跟踪第12期（2022年06月）：积塔/华虹招标53/49台，芯源微/北方华创/拓荆科技中标15/14/11台

2022年6月20日
行业研究
行业研究
积塔/华虹招标53/49台，芯源微/北方华创/拓荆科技中标15/14/11台
——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第12期（2022年06月）
电子行业
国内半导体设备5月招投标数据（仅限于已公布的数据）
国内晶圆厂商招标数据：
华虹半导体：CVD+1台，ALD+1台，干法刻蚀+3台，湿法刻蚀+2台，前道检
测+2台，前道计量+2台，后道测试机+16台，探针台+19台，后道封装+3台；
上海积塔半导体：PVD+7台，CVD+15台，ECP+1台，光刻机+4台，干法刻蚀
+5台，湿法刻蚀+1台，前道检测+4台，湿法清洗+3台，去胶+2台，涂胶显影
+3台，化学机械研磨+5台，退火+1台，氧化扩散+2台；
福建晋华：CVD+1台，前道检测+2台，前道计量+3台，退火+2台，离子注入
+1台；燕东微电子科技：前道计量+1台，湿法清洗+1台，离子注入+5台，
后道测试机+3台；华力微电子：干法刻蚀+1台，离子注入+1台；
上海新微：PVD+1台，干法刻蚀+1台，前道检测+1台，抛光研磨机+1台，氧
化扩散+1台，后道封装+5台；
国内设备厂商中标数据：
北方华创：PVD+8台，干法刻蚀+2台，湿法清洗+2台，氧化扩散+2台；
中微公司：干法刻蚀+2台；芯源微：涂胶显影+15台；沈阳拓荆：CVD+11台；
上海微电子：光刻机+1台，缺陷检测显微镜+4台；屹唐半导体：退火+1台；
华海清科：化学机械研磨+7台；上海精测半导体：前道检测+1台；
中科飞测：前道检测+1台，前道计量+4台；新益昌：粘片机+3台；
半导体设备行业景气度数据：
半导体设备销售额2021-2023年：全球分别为1026/1143/1134亿美元，同比
+44.2%/+11.4%/-0.8%（SEMI21年12月预测）；中国大陆分别为296/355/369
2022年5月：中国台湾半导体设备进口额为27.14亿美元，同比增长32.9%；
台积电营业收入为1857.05亿新台币，同比增长65.3%。
2022年4月：中国半导体销售额为167.3亿美元，同比增长13.3%；中国半导
体器件用机器及装置进口额累计值为439.78亿元，同比减少1.5%。
2022年第一季度：全球半导体设备销售额为246.9亿美元，同比增长4.8%；中
国大陆半导体设备销售额为75.7亿美元，同比增长27.0%。
半导体设备行业投资建议：建议关注北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海、
至纯科技、华峰测控、长川科技、芯源微、万业企业、华海清科、光力科技、华
兴源创、精测电子、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASMPacific（H）。
半导体材料行业投资建议：建议关注神工股份、沪硅产业-U、立昂微、雅克科技、
彤程新材、晶瑞电材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、华
特气体、金宏气体。
风险分析：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。
作者
021-52523849