【行业研究报告】至纯科技-系列跟踪报告之五：22Q2扣非净利润同比+48%，清洗设备业务高速增长

2022年9月6日
公司研究
公司研究
22Q2扣非净利润同比+48%，清洗设备业务高速增长
——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之五
事件：2022年8月31日，公司发布2022年半年度报告：公司2022H1营业收
入为11.2亿元，同比增长21.67%；归母净利润为0.81亿元，同比减少45.92%；
扣非归母净利润为0.97亿元，同比增长128.12%；毛利率为36.09%，同比增
长5.22pcts；净利率为7.76%，同比减少8.37pcts。
公司2022Q2营业收入为5.72亿元，同比减少16.99%；归母净利润为0.59亿
元，同比减少21.27%；扣非归母净利润为0.59亿元，同比增长48.26%；毛利
率为36.92%，同比增长9.63pcts；净利率为10.14%，同比减少0.94pcts。
点评：公司22Q2扣非净利润同比+48%，清洗设备业务高速增长。公司22H1
归母净利润同比-46%，主要系22H1非经为-0.16亿元（21H1为1.08亿元）；
22H1扣非净利润同比+128%，22Q2扣非净利润同比+48%，主要系公司半导体
设备业务增长所致。公司22H1清洗设备订单8亿元（22年目标20亿），同比
+87%；收入4.7亿元，同比+73%，毛利率提升11.2pcts至35%，清洗设备业
务实现高速增长。公司22H1合同负债为4.47亿元，较22Q1增长81%。
清洗设备领域进展顺利，拳头产品获持续订单。目前公司在28nm节点获得全
部工艺的设备订单，在14nm以下制程获得了4台设备订单，拳头产品包括SPM、
晶背清洗等机型在核心关键工序段均得到第一梯队客户的广泛认可，并获得持续
订单。公司湿法设备可覆盖第三代半导体晶圆制造全工序段，已累计获得近40
台订单，近期拿到了N型电池生产线的湿法设备订单，预计于第三季度交付。
高纯工艺系统持续增长，支持类设备国产替代进展良好。公司22H1以支持设备
为主的高纯工艺系统持续增长，核心客户如中芯、华虹、长江存储、合肥长鑫、
士兰微等，气体及化学品设备、前驱体设备和研磨液等设备国产替代进展良好。
积极布局电子大宗气体、晶圆再生及部件清洗等新的增长曲线。（1）大宗气嘉
定工厂年初顺利供气，逐步爬坡，为首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大
宗气体供应工厂；（2）在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，目前已通线试产，
是国内首条投产的12英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的
阳极产线，具备年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生的产能。
盈利预测、估值与评级：至纯科技是国内领先的半导体湿法设备巨头企业，随着
湿法设备业务持续放量，以及积极布局支持类设备、电子大宗气体等，公司进入
快速发展期。我们维持至纯科技2022-2024年的归母净利润分别为3.81、5.55、
风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。
公司盈利预测与估值简表
指标202020212022E2023E2024E
营业收入（百万元）1,3972,0843,0063,7604,707