【行业研究报告】富创精密-半导体设备零部件国内龙头，受益国产替代加速

⚫半导体设备零部件行业空间广阔，国产替代加速推进。设备零部件作为半导体上游
产业链的一环，是整个产业的重要基础和支撑。从需求端来看：一方面，随着国内
晶圆厂持续扩产，半导体零部件替换需求增长；另一方面，国内半导体设备厂商受
晶圆厂持续扩产，半导体零部件替换需求增长；另一方面，国内半导体设备厂商受
益国产替代业务规模加速增长，零部件需求快速提升，同时零部件国产化率比例持
续提升，国产设备厂对于国产零部件需求有望迎来快速增长。根据我们的测算，
2021年中国大陆晶圆厂零部件替换需求与国内设备厂商零部件增量需求合计规模可
达146亿美元。同时部分国内零部件厂商已打入海外供应链体系，2021年全球半导
体设备零部件增量需求空间为461亿美金。从供给端来看：半导体设备零部件行业
由美欧日企业主导，整体格局较为分散。国内零部件市场以外资控股公司为主，国
产化率较低，且国内厂商在高端领域与海外企业差距明显。近年来，富创精密、江
丰电子、万业企业等国内厂商通过自行研发和并购的方式持续发力关键工艺零部
件、真空半导体核心零部件、硅零部件等领域，国产替代有望加速。
⚫公司积极开拓国内外市场，研发扩产夯实领先地位。公司已进入客户A、东京电
子、ASMI等海外半导体设备龙头的供应链体系，同时已为北方华创、中微公司等
众多主流国产半导体设备厂商提供产品。公司在手订单充沛，产能利用率已至高
位，为缓解产能紧张，公司规划发展沈阳新厂、南通、北京和专用领域零部件产能
建设四大项目，达产后可贡献年收入42.5亿元。放眼未来，公司将持续扩大7纳米
工艺制程的半导体设备精密零部件的品类，提升工艺水平和产品性能；同时，加快
研制应用于5纳米及更先进工艺制程的半导体设备精密零部件。随着产能扩张和产
品研发持续推进，公司的销售规模和市场认可度有望进一步提升。
⚫我们预测公司22-24年每股收益分别为0.96、1.62、2.42元，由于零部件国产替代