【行业研究报告】芯源微-2022年业绩预告点评：业绩保持高增态势，前道设备加速放量

事项：
2023年1月19日，公司发布2022年度业绩预增公告：
1）2022年：公司预计实现营业收入13.0~14.2亿元，同比+56.88%~71.36%；
预计实现归母净利润1.75~2.10亿元，同比+126.25%~171.49%；预计实现扣非
后归母净利润1.2~1.5亿元，同比+87.97%~134.97%；
2）2022Q4：公司预计实现营业收入4.03~5.23亿元，同比+43.28%~85.91%，
2）2022Q4：公司预计实现营业收入4.03~5.23亿元，同比+43.28%~85.91%，
环比+2.77%~33.35%；预计实现归母净利润0.32~0.67亿元，同比
+31.78%~176.03%，环比-56.57%~-9.03%；预计实现扣非后归母净利润
0.21~0.51亿元，同比+16.30%~183.46%，环比-37.41%~+52.56%。
评论：
业绩保持高增态势，后续前道涂胶显影设备收入确认有望加速。公司克服疫
情影响，实现客户端订单的有序交付及顺利验收，收入规模持续增长。以中位
数测算，公司预计2022Q4实现营收4.63亿元，同比+64.60%，环比+18.06%；
预计实现归母净利润0.49亿元，同比+103.90%，环比-32.80%；预计实现扣非
后归母净利润0.36亿元，同比+99.88%，环比+7.58%。公司前道track仍处于
收入放量前期，我们认为未来前道track放量将带动公司业绩高增长。
美国出口管制加速半导体设备国产化，公司凭卡位优势将迎来份额快速提升。
上一轮美国出口管制开启逻辑制程设备国产化浪潮，国内半导体设备厂商的份
额显著提升。目前存储产线及部分逻辑客户产线中国产设备占比较低，美国出
口管制影响下，下游晶圆厂有望加速国产替代进程。芯源微在offline、I-line、
KrF等关键涂胶显影设备上已送样或实现量产，是目前国内唯一一家能提供中
高端量产型涂胶显影设备的公司，未来有望凭卡位优势迎来份额快速提升。
公司前道涂胶显影设备放量值得期待，布局化学清洗正打开远期成长空间。
公司2012年获批承担国家02重大专项，2018年首台国产高产能前道涂胶设
备出厂并在上海华力进行设备工艺验证，公司设备通过持续迭代，目前性能得
到大幅优化，现已收到多个前道大客户订单。在前道清洗设备领域，公司单片
物理清洗设备SpinScrubber已达到国际先进水平并成功实现国产替代，单片
化学清洗设备正在加速研发，未来有望复制公司在前道涂胶显影和单片物理清
洗市场的成功路径，快速导入下游晶圆厂客户中。
投资建议：半导体设备行业持续高景气，国产替代空间巨大，公司作为国内涂
胶显影设备龙头，卡位优势明显，同时正立足单片物理清洗市场加速布局单片
化学清洗设备。考虑到公司业绩加速释放，我们将公司2022-2024年营业收入
预测由13.21/19.00/25.90亿元上修至13.60/19.68/26.93亿元，对应EPS为
2.09/2.77/3.74元，参考公司历史估值及行业可比公司估值，给予2023年12
倍PS，对应目标价为255.01元，维持“强推”评级。
风险提示：中美贸易摩擦加剧；下游客户扩产不及预期；上游零部件供应短缺；
行业竞争加剧。
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