【行业研究报告】中微公司-营收规模快速扩张，关键刻蚀设备取得进展

事件：中微公司发布2022年业绩快报，公司全年实现营收47.40亿元，同比
增长52.50%；归母净利润11.70亿元，同比增长15.66%；扣非后归母净利润
9.19亿元，同比增长183.44%。
ICP与CCP刻蚀设备业务高速发展：公司的CCP电容性高能刻蚀设备出
货量快速增长，得到众多客户的批量订单，市场占有率不断提升，累计已有
货量快速增长，得到众多客户的批量订单，市场占有率不断提升，累计已有
2320个反应台在生产线运转。中微公司的ICP刻蚀设备自推出以来，不断拓
展更多的应用范围，迅速扩大市场并收获批量订单，已应用在超过20个客户
的逻辑、DRAM、3DNAND等各类芯片生产线中，发展势头强劲。
多维布局拓展新市场：中微公司布局的薄膜设备和检测设备市场，是除光刻
和刻蚀外的第三大和第四大设备市场。公司的MOCVD设备产品是三五族化
合物半导体制造的关键核心设备，应用于照明，大面积显示屏、功率器件、微
显示等新兴领域，市场规模和应用领域扩展迅速。
极高深宽比刻蚀设备取得进展：美国LAM的极高深宽比刻蚀FLEX系列
设备，是制约国内3DNAND扩产的最主要障碍；中微公司用于更先进微观器
件制程的极高深宽比刻蚀设备，取得了可喜的进展，有望为公司贡献销售收
入。此种设备的突破和放量，有助于中微的大客户恢复扩产，并强劲拉动自身
业绩。
投资建议：综合考虑限制措施对国内半导体产业影响，公司在手订单情况，
公司核心技术目前的研发进度，我们预计公司2022-24年营收为
47.40/65.44/87.34亿元,归母净利润分别为11.70/16.15/22.31亿元，对应PE为
风险提示：半导体市场下行周期叠加海外供应风险，国内晶圆厂设备采购放
缓；高端产品研发进度不及预期；行业竞争加剧。
盈利预测：
2020A2021A2022E2023E
2024E
营业总收入(百万元)