【行业研究报告】盛美上海-湿法设备四千腔顺利交付，同步推进平台化建设

湿法设备四千腔顺利交付，同步推进平台化建设
投资要点
2024年3月12日，盛美上海宣布湿法设备4000腔顺利交付。
湿法设备四千腔顺利交付，设备可涵盖95%清洗步骤
2024年3月12日，盛美上海宣布公司于3月6日实现湿法设备4000腔顺利交付，
新里程碑的达成彰显了市场对公司产品的高度认可。
新里程碑的达成彰显了市场对公司产品的高度认可。
公司深耕半导体清洗设备，2023年清洗设备营收占比为67.24%。公司成功研发出
全球首创的SAPS/TEBO兆声波清洗技术和单片槽式组合清洗技术，已达到国际领
先或国际先进的水平。Gartner数据显示，2022年公司在全球单片清洗设备的市场
份额已升至7.2%。
根据公司2024年3月投资者调研纪要，公司清洗设备包括背面清洗、边缘刻蚀清
洗、单片高温SPM设备、超临界CO2清洗以及单片槽式组合清洗等清洗设备，可
覆盖95%清洗步骤，是全球覆盖范围最广的厂商；随着清洗设备的持续精进和市场
的不断开拓，公司有望快速实现中国市场55%-60%的市占率目标。公司预计2024
年清洗设备仍将是第一大营收来源，延续稳定增长趋势，其中槽式设备有望实现可
观增长。
同步推进平台化建设，新项目串联五大产品加快验证进程
公司同步推进平台型设备厂商的建设，积极扩大产品组合，在半导体电镀设备、立
式炉管设备、前道涂胶显影（Track）设备、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）
设备等领域扩大布局。
电镀设备：电镀设备将是公司2024年的核心增长点，有效提升公司营收规模和整
体毛利率水平。目前公司在国内电镀市场的市占率约30%，前道电镀设备已有海外
demo订单，并已获得多家客户的TSV电镀设备重复订单。
炉管设备：2023年底公司新增多家炉管客户，有望于2024年放量贡献营收。ALD
已研发完成，正在客户端进行生产验证。公司预计炉管设备综合毛利率将维持在
40%-45%。
PECVD和Track设备：两类设备预计2025年开始放量贡献营收，并支撑公司未
来5-8年的高速成长。PECVD方面，公司采用“一个腔体三个卡盘”的差异化设
计，可在同一平台上实现多种PECVD工艺，预计2024年将新增3-5家战略核心
客户。Track方面，公司从300WPHKrF-line设备切入，逐步进行400WPH设备
的研发，同时2024年公司也将开发出浸润式ArFTrack设备。
2024年1月，公司发布公告拟投资9.40亿元实施研发和工艺测试平台建设项目。
该项目可串联公司五大产品线（清洗设备、镀铜设备、炉管设备、PECVD、Track），
进行模拟生产线inline的测试，加快公司对各类设备的开发验证，缩短在客户端的
测试验证时间。
电子|半导体设备Ⅲ