【行业研究报告】芯源微-前道涂胶显影竞争力持续凸显，化学清洗/键和设备等新品进展顺利

⚫投资要点
前道Track订单保持增长，各品类竞争力持续凸显。2023年
前道Track订单保持增长，各品类竞争力持续凸显。2023年
公司预计实现营收17.17亿元，同比+23.98%；实现利润总额2.82
亿元，同比+27.11%；实现归母净利润2.51亿元，同比+25.17%；
实现扣非归母净利润1.87亿元，同比+36.31%，主要系司持续加大
研发投入，不断提升产品性能及服务水平，产品综合竞争力持续增
强，综合毛利率水平稳健增长，盈利能力同步提升。分产品看，拳
头产品前道涂胶显影设备收入继续创新高，2023年公司光刻工序
涂胶显影设备/单片式湿法设备分别实现营收约10.66/6.00亿元，
分别同比增长约40.80%/9.09%。目前，公司offline、I-line、KrF
产品商业竞争力已逐步凸显，工艺处理能力、稳定性等与进口机台
的差距不断缩小；公司第三代浸没式高产能Track设备平台架构
FT300（Ⅲ）于2022年12月份发布，目前下游客户端导入评估和
应用进展良好。
物理清洗保持龙头地位，化学清洗有序突破。公司前道物理清
洗机SpinScrubber自2018年发布以来，凭借其高产能、高颗粒
去除能力、高性价比等优势迅速打破国外垄断，并确立了国内市场
领先优势，目前已作为主流机型广泛应用于中芯国际、上海华力、
青岛芯恩、广州粤芯、上海积塔、厦门士兰等知名厂商。近年来，
随着公司前道物理清洗机在高产能清洗架构、颗粒去除能力等工
艺的进一步提升，产品竞争力不断增强，国内市占率稳步上升。同
时公司不断推出新品满足客户更高产能需求：1）新推出的更高产
能物理清洗新品已于2023年第三季度发往客户端验证，验证进展
良好；2）公司前道单片式化学清洗机已于2023年第四季度获得国
内知名客户验证性订单，将尽快movein到客户端进行验证，同
时公司也在积极对接其他意向客户。
后道先进封装及小尺寸领域设备静待行业复苏贡献增量。
2023年后道及小尺寸签单受下游市场景气度影响，行业周期性承
压，2023H1，国内后道封测厂商扩产节奏有所放缓，目前仍处于周
期性产能消化阶段；LED终端市场消费需求仍较为低迷，射频器件
等也处于库存调整阶段。公司把握市场底部机会，加大力度持续开
拓新客户，取得良好进展，公司与国内新兴封装势力加深合作，
2023H1再次获得来自主要厂商的批量重复订单。展望未来，汽车
电子、工业电子及高性能计算等需求增长或将引领新一轮的资本
开支计划，有望带动后道先进封装设备订单；随着MircoLED行
业发展、移动通信基站持续扩容、AR/VR产业链降本推进，小尺寸
领域设备有望迎来新的市场增量。随公司作为细分领域龙头，在市
场开拓中不断延伸，静待行业上行收获订单。
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