【行业研究报告】中微公司-业绩和订单创新高，新品拓展顺利

半导体设备业绩和订单创新高，新品拓展顺利20242024年3月21日公司研究/公司快报公司近一年市场表现市场数据：2024年3月20日收盘价（元）：154.38年内最高/最低（元）：199.81/104.92流通A股/总股本（亿）：6.19/6.19流通A股市值（亿）：956.04总市值（亿）：956.04基础数据：2023年12月31日基本每股收益：2.89摊薄每股收益：2.89每股净资产(元)：28.78净资产收益率：10.01资料来源：最闻徐风S0760519110003事件描述公司公布2023年报。实现营业收入62.6亿元，同比+32.2%；归母净利润17.9亿元，同比+52.7%；扣非归母净利润11.9亿元，同比+29.6%。其中，Q4单季实现营业收入22.2亿元，同比+31.0%；归母净利润6.3亿元，同比+66.1%；扣非归母净利润4.6亿元，同比+66.1%。事件点评核心设备均达到国际先进水平，市场份额不断提升，高端系列布局顺利。截止2023年末，累计4000多台等离子刻蚀和化学薄膜的反应台在客户120多条生产线全面量产和大量重复性销售。劳动生产率不断提高，人均年化营业收入超过350万元。（1）刻蚀设备实现收入47.0亿元，yoy+49.4%。CCP设备，2023年交付超400个CCP刻蚀反应腔，累计交付2875个；针对超高深宽比刻蚀的PrimoUD-RIE已经在生产线验证出具有刻蚀≥60:1的能力；应用于All-in-one大马士革刻蚀工艺的SD-RIE已在国内领先的逻辑客户开展现场验证。ICP设备，在超过50个客户生产线上进行量产，PrimoNanova累计安装445个反应腔，近3年cagr超80%；深硅刻蚀设备PrimoTSV200E、300E在晶圆级先进封装、2.5D封装等获得重复性订单，在12英寸的3D芯片的硅通孔刻蚀工艺上得到成功验证。（2）MOCVD设备实现收入4.6亿元，受市场端波动影响同比下滑。持续保持国际氮化镓基MOCVD市场领先地位，累计交付超500个反应腔；针对Micro-LED应用的专用设备开发顺利，已在国内领先客户开展生产验证。投资收益推升净利率，高投入确保新品研发，薄膜沉积产品进展顺利。2023年，公司毛利率45.8%，基本持平；期间费用率合计25.0%，同比+1.8pct，其中管理费用率（4.5%）同比+3.0pct；净利率28.5%，同比+3.8pct，主要系投资净收益增加所致，投资净收益和公允价值变动两项合计5.9亿元，收入占比9.4%，同比+6.5pct。2023年公司研发投入为12.6亿元，同比+35.9%，占收入比重为20.2%；研发人员788人，占比达45.8%。新开发4款薄膜沉积产品，首台CVD钨设备付运到关键存储客户，通过现场验证并获得重复量产订单；开发新型号HAR（高深宽比）W钨设备及ALDW钨设备，目前已通过客户现场验证；ALD氮化钛设备研发稳步推进，实验室测试数据优异。新签订单保障业绩增长，新的生产基地已投入使用，产品交付有望加快。2023年新签订单83.6亿元，同比+32.3%；其中刻蚀设备新签单69.5亿元，同比+60.1%，形成有效业绩支撑。目前产能建设顺利推进，中微临港（18