【行业研究报告】江丰电子-引进韩国静电吸盘技术及采购产线，加快推动精密零部件业务发展

引进韩国静电吸盘技术及采购产线，加快推动精
密零部件业务发展
投资要点
2025年1月20日，公司发布关于签署静电吸盘项目之合作框架协议的公告。
引进韩国静电吸盘技术及采购产线，加快推动精密零部件业务发展
2025年1月17日，江丰电子与KSTEINC.签署了《关于静电吸盘项目之合作框
架协议》。公司从KSTE引进约定范围的静电吸盘（E-CHUCK）产品所需的全部
架协议》。公司从KSTE引进约定范围的静电吸盘（E-CHUCK）产品所需的全部
生产技术并采购相关生产线，最终实现公司在中国大陆地区独立量产。KSTE负责
向江丰电子提供全流程技术支持，并负责有关生产线的设计和交付。
KSTE是韩国领先的专业从事静电吸盘生产以及相关的设备及工艺开发、集成与安
装业务的企业，掌握了静电吸盘的设计、生产和销售领域的众多专有技术和业务信
息。KSTE成立于1996年，于2006年实现PhotoChuck的量产供应；2008年8
英寸陶瓷静电卡盘开发完成并向全球供货；2015年KSTE推出2和4温区
Tunable-ESC产品。
静电卡盘（E-CHUCK）是一种适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承
载体，利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持，在集成电路制造中是薄
膜设备、刻蚀机、离子注入机、量测设备等高端装备的核心部件。静电卡盘市场具
有高度垄断性，主要由日本和美国等企业主导，包括美国AMAT、美国LAM、日
本新光电气、日本TOTO、日本NTK等公司。根据珂玛科技招股书，2023年全球
静电卡盘市场规模保守估计为36~42亿元，其中中国大陆市场为7~8亿元。
靶材全球市场份额第一，零部件实现超85%的行业产品覆盖
公司成功搭建以超高纯金属溅射靶材为核心，半导体精密零部件、第三代半导体关
键材料共同发展的多元产品体系与业务主线，已成长为集材料、部件、服务三位一
体的集成方案提供商。
靶材：公司现已成为全球领先的半导体溅射靶材制造商，产品进入到全球领先的
3nm工艺制程，是台积电、中芯国际、SK海力士、联华电子等全球知名芯片制造
企业的核心供应商，赢得了众多国际知名晶圆制造企业长期、稳定的需求订单，市
场份额近40%，位居全球第一。公司已配备包括万吨油压机、电子束焊机、超级双
两千热等静压设备、超大规格热等静压设备、冷等静压设备等重大装备，将加速推
动公司高端靶材新品的研制进程。此外，公司积极往产业链上游延伸，培育上游原
材料供应商，实现铝、钛、钽、铜、钨、钴、锰、镍等全面自主化。
零部件：公司现已研制出超4万款半导体设备零部件，覆盖了PVD、CVD、刻蚀、
光刻、3D堆叠等工艺的所有装备，实现85%以上的行业产品覆盖。公司在全国建
成了多个零部件生产基地，半导体精密零部件产品已成功进入了半导体客户的核心
供应链体系，广泛应用于PVD、CVD、蚀刻机等半导体设备中，实现了多品类精
密零部件产品在半导体核心工艺环节的应用，其中气体分配盘和硅电极等多款零部
电子|半导体材料Ⅲ