【行业研究报告】中微公司-公司点评：业绩高速增长，平台化布局持续推进

公司收入端实现较大幅度增长的主要原因是针对先进逻辑和存储
公司收入端实现较大幅度增长的主要原因是针对先进逻辑和存储
器件制造中高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中关键
刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。
经营分析
公司研发力度持续加大，新品开发速度加快。目前公司在研项目
涵盖六大类，超过二十款新设备的开发。目前，在高额研发投入支
持下，公司相较之前三到五年产品速度，目前只需两年或更短时间
就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场。1Q25公司继续
维持高额研发投入，研发费用达6.87亿元，同比增长90.53%，研
发投入占公司营业收入比例约为31.60%，显著高于同业公司。
刻蚀设备24年收入高增，薄膜沉积设备/EPI/量检测等新产品进
展良好。根据公司24年年报数据显示，24年公司刻蚀设备收入为
72.77亿元，同比+54.73%。公司为先进存储器件和逻辑器件开发
的六种LPCVD薄膜设备已经顺利进入市场，2024年收到约4.76亿
元批量订单，实现销售收入已达到1.56亿元。新开发的EPI设备
已顺利进入客户端量产验证阶段，满足客户先进制程中锗硅外延
生长工艺的量产需求。此外公司成立子公司“超微公司”，布局量
检测设备板块，已规划覆盖多种量检测设备产品，平台型设备公司
布局已初步形成。
盈利预测、估值与评级