【行业研究报告】珂玛科技-珂玛科技首次覆盖报告：氮化铝陶瓷加热器和静电卡盘：半导体沉积和刻蚀环节核心组件业务值得期待

报告要点
1）存储芯片3D化及逻辑芯片制程升级驱动公司产品需求。AI驱动下，国
内存储芯片（Dram、3DNAND）和高阶逻辑芯片（28nm以上，GAA）的
产能扩充以及技术升级推动PECVD/ALD等薄膜沉积设备需求保持高速增
长趋势。腔室数量和制程时长的大幅提升，以及陶瓷材料对金属材料的替
长趋势。腔室数量和制程时长的大幅提升，以及陶瓷材料对金属材料的替
代，有望带动氮化铝陶瓷加热器量/价高增长弹性。
2）公司新产能开出，带动出货预期增长。公司新产能将于2025年下半年
持续开出，我们预测到2025年底，公司氮化铝陶瓷加热器产能从24年60
支/月逐步提升到25年年底的200支/月水平，以满足核心客户26年的出
货需求，产能提升有望带动公司出货预期成长。
3）国产替代空间广阔，公司处于国内领先地位。氮化铝加热器、静电卡盘
等设备相关晶圆接触的核心功能模块设备成本较高，但由于技术门槛相对
较高，国产化率相对较低，仅为14%左右，替代空间广阔。公司在该行业
深耕多年，在国内市占率和营收规模上处于相对领先地位，有望充分受益国
产替代进程。
投资建议与盈利预测
我们预计公司2025-2026年归母净利为4.28/6.32亿元，对应PE为60/41
倍，在中性/上行的情况下，给予公司2026年52x/61x估值，分别对应目标
财务数据和估值
2024A2025E2026E
国元预测市场预期国元预测市场预期
营业收入（百万元）8571181114016531483
增长率（%）78.5%37.7%33.0%40.0%30.1%