图表内容
表3：太阳能级多晶硅国家标准技术要求（单位：10^-9ppba
atoms/cm3
μs
ng/g
cm)
太阳能级多晶硅技术指标
技术指标
项目
特级品
1级品
2级品
3级品
施主杂质浓度(10-9ppba)
≤0.68
≤1.40
≤2.61
≤6.16
受主杂质浓度(10^-9ppba)
≤0.26
≤0.54
≤0.88
≤2.66
氧浓度(atoms/cmA3）
<0.2X10^17
≤0.5X1017
≤1.0X10^17
≤1.0X1017
碳浓度(atoms//cm3)
≤2.0X10^16
≤2.5X1016
≤3.0X10^16
≤4.0X10^16
少数载流子寿命（μs)
≥300
≥200
≥100
≥50
基体金属杂质含量-Fe、Cr、Ni、Cu、Zn(ngg)
≤15
≤50
≤100
≤100
表面金属杂质含量-Fe、Cr
Ni、Cu
Zn、Na(ngg)
≤30
≤100
≤100
≤100
基磷检验电阻率(2·cm)
≥200
≥100
≥50
≥25
基硼检验电阻率(2·cm)
≥1000
≥500
≥300
≥100
注：1、基体金属杂质检测可采用二次离子质谱、等离子体质谱和中子活化分析，由供需双方协商解决。
2、每个等级的产品应该同时满足本等级的要求，若某项超出指标，则降为下一级。
3、3级品主要应用于多晶硅锭的生产」
资料来源：《国家标准GBT25074-2017》，浙商证券研究所
