Advanced Energy射频电源

研究报告节选:

射频电源是一种可以产生固定频率的正弦波电压、频率在射频范围(约 3KHz～300GHz)内、具有一定功率输出的电源，是化学气相沉积设备（PECVD）、原子层沉积设备（ALD）、物理气相沉积设备（PVD）、蚀刻设备、离子注入设备等半导体设备的工艺电源。射频电源在常用的电源中是比较复杂的，对射频功率的馈入、匹配器的匹配以及屏蔽和接地等都有比较高的要求。