Advanced Energy射频电源-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务

Advanced Energy射频电源

研究报告节选:

射频电源是一种可以产生固定频率的正弦波电压、频率在射频范围(约 3KHz~300GHz)内、具有一定功率输出的电源,是化学气相沉积设备(PECVD)、原子层沉积设备(ALD)、物理气相沉积设备(PVD)、蚀刻设备、离子注入设备等半导体设备的工艺电源。射频电源在常用的电源中是比较复杂的,对射频功率的馈入、匹配器的匹配以及屏蔽和接地等都有比较高的要求。
最后更新: 2023-01-03

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日11:Advanced Energy射频电源
料来源:Advanced Energy官网,中原证券