图表内容
13.刻蚀设备中的射频电源及匹配箱
气体
喷头电极（阳极）
电池
等离子
阴极精层
基微（阴极）
绝缘体
排气
匹配箱
据来源：《半导体制造设备基础与构造精讲》，佐这浮一、财通证养研究所
刻蚀设备中的射频电源及匹配箱
研究报告节选:
由此可见，射频电源直接关系到等离子体的浓度、均匀度、稳定度等，是半导体工艺的重要机台及关键零部件之一。其难点主要在于电源的波形、频率、功率等最后更新: 2023-01-20
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基微（阴极）
绝缘体
排气
匹配箱
据来源：《半导体制造设备基础与构造精讲》，佐这浮一、财通证养研究所
