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汉钟精机半导体真空泵产品
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使用环节 适用于 Load Lock、 TR 、Metrology 等干净制程。
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最后更新: 2023-01-20
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为uQ中包收7王行TF。
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财通证券 | 2023-01-20 | 31个图表
图表内容
表3.汉钟精机半导体真空泵产品
产品
特点
使用环节
适用于Load Lock、TR、Metrology等千净制
PMF系列产品
体积小、节能
程。
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