石英坩埚内表面微气泡

研究报告节选:

石英坩埚质量直接影响其使用寿命和硅棒品质。石英坩埚用于 1430℃-1500℃的拉晶过程，高温下坩埚内外表面 SiO2 分子振动加速，杂质离子（如 K、Na、Li、Ca、Mg 等）局部集聚形成析晶层，析晶层达到一定厚度时将导致石英坩埚破裂。石英坩埚原材料为天然石英砂，石英砂中含有大量气液包裹体，导致坩埚透明层微气泡不可能完全去除。坩埚透明层 0.5mm 深度内微气泡逐渐膨胀破裂，导致石英颗粒和气泡进入硅液，直接影响单晶生长及品质。