图表内容
图表35.激光直写光刻技术在掩膜制版、先进封装和新型显示等领域具有良好应用前景
直写光刻
光刻
应用领域
掩膜光刻
激光直写光刻
带电粒子束直写光刻
精度
满足中高端IC制造需
IC前道制造
满足低端IC制造需求
FPD制造所需的掩膜版制版
IC、FPD掩膜
满足IC制造高端掩膜版制版
及IC制造所需的中低端掩膜
中等
版制版
需求
版制版需求
IC后道封装
满足先进封装需求
满足先进封装需求
较低
FPD制造
满足低世代线需求
满足中高世代线需求
较低
资料来源:芯基微装招股说明书,东亚前海证茶研究所