图表内容
图表20行业内其他企业对比
名称
成立时间
企业简介
无锡松煜
2017年
主要产品包括ALD、管式PECVD、LPCVD、三合一PECVD沉积系统等产品。
理想晶延
2013年
主要产品包括ALD、PECVD等系列。
微导纳米
2015年
国内主要从事光伏ALD设备的企业之一，产品类型以管式ALD设备为主，并拓
展PECVD、PEALD二合一设备。
捷佳伟创
2007年
产品涵盖原生多晶硅料生产设备、硅片加工设备、晶体硅电池生产设备等。
北方华创
2001年
由七星电子与北方微电子完成并购重组而成，其PECVD产品已在光伏领域实现
批量销售。
红太阳
2009年
中国电子科技集团控股子公司，主要产品包括PECVD、LPCVD、ALD、扩散
炉、氧化炉等。
Centrotherm
1976年
德国企业，长期从事热解决方案的创新开发，并提供光伏、集成电路与微电子工
业的生产解决方案。其中，光伏技术的生产设备包括管式低压扩散炉、PECVD
系统、LPCVD系统、快遠烧结炉、再生炉等。
拉普拉斯
2016年
主营光伏领域设备，包括扩散系统、LPCVD、PECVD等
资料来源：招股说明书，华安证券研究所
