图表内容
表28国内半导体材料上市公司
半导体材料
上市公司
现有产品
计划产品
大硅片沪硅产业
万片12英寸硅片
中环股份
8英寸硅片70万片
50万片12英寸硅片
光刻胶及配套材料晶瑞股份
G线、I线等
KrF(中试阶段)
江化微
光刻胶配套试剂等
8万吨高纯湿电子化学品项目等
海新阳
南大光电
电子气体
雅克科技
氟化硫、四氟化碳等
华特气体
氟乙烷、碳氧化合物、高纯四氟电子气体生产纯化及工业气体充
化碳、氩气、氮气等
装项目(包括八氟丙烷、四氟化
洼、锗化氢等
昊华科技
氟化氮等
氟化氮3000吨/年、六氟化钨
600吨/年及四氟化碳1000吨/年
金宏气体超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、高纯三氟化氟、500吨电子级氯
干冰、硅烷等
化氢、高纯三氟化硼、500吨电
