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薄膜沉积设备分类-小牛行研(hangyan.co)-AI驱动的行业研究数据服务

薄膜沉积设备分类

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最后更新: 2021-06-25

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应用材料 | 广证恒生证券研究所 | 2019-12-25 | 58个图表

图表内容

图表17薄膜沉积设备分类
薄膜沉积
化学气相沉积(CVD)
常压( APCVD)
CVD设备
低压( LPCVD)
等离子( PECVD
金属( MOCVD
PⅤD设备
物理气相沉积(PVD)
真空蒸镀设备
真空蒸镀
MBE设备
分子束外延
液相外廷设备
液相外延技术LPE
ALD设备
原子层沉积(ALD
电化学镀膜设备
电化学镀膜/铜镀膜ECP
数据来源:公开资料整理、广证恒生

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